中瑞祥便攜式熱偶真空計 真空測試儀原理操作步驟 是一種基于氣體熱導率與壓力關系的真空測量儀器,通過檢測加熱絲溫度變化間接反映真空度。以下是其核心原理和操作要點: 工作原理 ?熱傳導特性?:氣體分子的熱導率與壓力成正比。當壓力降低時,氣體導熱減少,加熱絲溫度升高,熱電偶輸出的電勢隨之增大。 ? ?溫度-電勢轉換?:加熱絲通以恒定電流,其溫度由周圍氣體壓力決定。熱電偶將溫度變化轉化為電勢信號,通過毫伏表或數字顯示轉換為壓力值。 ? 操作步驟 ?預熱與校準? 連接規管后,預熱10分鐘,確保系統穩定。 ? 調節加熱電流至規定值(通常標注在規管或說明書上),使指針滿度并持續1分鐘。 ? ?測量模式切換? 將“熱偶選擇"開關置于“測量"位置,重復測定三次以提高準確性。 ? ?注意事項? 量程范圍:通常為0.1Pa至1000Pa,需在不同氣體下標定(因氣體導熱性差異)。 ? 避免在氧化性或腐蝕性氣體中使用,以防熱絲氧化或損壞。 ? 適用場景 適用于低真空至中真空環境(1~300Pa),常用于真空鍍膜、半導體制造等工藝的真空度監控。
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